科工力量：面对韩方专利指控，中国半导体设备路在何方？

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科工力量：面对韩方专利指控，中国半导体设备路在何方？
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2022-06-11 08:24:32 字号：A- A A+ 来源：观察者网

最后更新: 2022-06-11 08:30:04

半导体设备不止“刷盘子”

对于中国半导体企业而言，抢到清洗设备这样的“刷盘子”市场很赚钱，但这还不够。

对于这一点，日本清洗设备巨头迪恩士深有感触。作为世界第一台旋转晶片清洗系统的研发者，迪恩士在2016年就占据了半导体清洗设备53%的市场。但是随着中国企业的入场，这一数字已经下降到了45%，盛美上海和北方华创等企业，在未来也会面临同样的压力。

从市场转型来看，迪恩士曾经考虑过刻蚀设备的业务，但这些业务却并没有为公司改善营收结构。迪恩士2022年H1财报指出，公司总营收的95%来自清洗设备，其中单品清洗机占比高达70%，严重依赖SU-3200这款产品。

与迪恩士相比，国产半导体设备厂商同样面临严重的马太效应。但是目前除光刻机以外，其余流程设备都在加速渗透。

去胶设备方面，屹唐半导体已经依靠干法去胶设备拿下了超过30%的全球市场份额。热处理设备领域，屹唐也凭借着0.1%的市场份额在2020年排名全球前十。CMP领域，中电科45所和华海清科都拿下了国内订单，后续替代也逐步提上日程。

截至目前，国内半导体设备攻关的细分领域为离子注入设备、刻蚀设备和薄膜沉积设备。涂胶显影设备领域，芯源微目前也在尝试小规模替代。考虑到这些领域的压力，包括屹唐、芯源微在内的企业，正在通过清洗和CMP等低门槛领域进行业务多样化，用优势项目的营收推动关键领域的技术攻关。

面向未来，国产设备的替代目标，可能是二手芯片设备。《华尔街日报》去年年底的一篇专题报道指出，为了满足原有的生产周期，二手设备价格水涨船高，已经超出了原有的价值。仅以1995年生产的佳能FPA3000i4，这款设备2014年的报价仅为10万美元，2021年则是170万美元。

依照传统的行业规律，成熟制程芯片厂商为了对抗成本压力，会选择二手设备。二手半导体设备厂商Surplus Global首席执行官 Bruce Kim曾表述，公司在过去20年中回收了40000套设备。但是由于二手设备需求的持续上涨，这些设备的交付也可能出现问题。与全新设备和二手设备相比，国产设备在交付上会有更加明显的优势。

深入核心的路很难，但是中国半导体从未停下脚步。

本文系观察者网独家稿件，文章内容纯属作者个人观点，不代表平台观点，未经授权，不得转载，否则将追究法律责任。关注观察者网微信guanchacn，每日阅读趣味文章。

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