余鹏鲲：国产光刻设备为何引起轩然大波该如何宣传技术突破

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余鹏鲲：国产光刻设备为何引起轩然大波该如何宣传技术突破
- 余鹏鲲独立撰稿人
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2018-12-04 08:05:52 字号：A- A A+ 来源：观察者网

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由于该专家未能公布图像来源，笔者也未能在英文文献中找到类似的图形，姑且认为该匿名专家提供为真，并将对比图贴在下面。

（左图为该匿名专家提供的疑似国外50nm同原理的图像，右图为该自主光刻设备新闻发布时的配图）

笔者认为从种种迹象而言，该匿名专家确实专业，非常了解国外该技术的现状，不过没有充分的了解国内本次自主项目的一些相关情况。笔者注意到该专家提供的国外技术团队的图片角标为50纳米，而国内的为22纳米。

显然线宽更小的样品放大倍数必须更高才能生成同样大小的图案，而且新闻中摄像机与图片的法线夹角非常大，也很容易让人产生歪歪斜斜的印象。下图中笔者从该所研究员在《科学通报》发表的著名文章《表面等离子体超衍射光学光刻》中截取了自主技术分别在线宽45纳米和22纳米照片，并与该匿名专家提供的疑似50纳米线宽图像进行对比，事实证明45纳米线宽下自主工艺与疑似国外的质量差距非常小。

（左上图为该匿名专家提供的疑似国外50nm同原理的图像，右上图为45nm自主工艺的图像，左下角为自主工艺22nm的图像，右下图为该自主光刻设备新闻发布时的配图，展板上的图片疑似与左下角同一张图片，由于角度问题显得线路更歪一些）

同时，该匿名专家也未能提供该国外实验的背景。要知道实验室研究主要追求的是速度而非良品率。因此实验操作人员很难像工业生产一样按照最严格的操作流程来，不能简单地就以一幅图像下结论。

同时，笔者未能找到采用相同原理且线宽同样达到或超过22纳米的英文文献，所以暂时不能就该设备是否是“世界首台分辨力最高的紫外超分辨光刻装备”下结论。但是笔者同时认为只要国外没有公开这样的设备，哪怕所谓的分辨力最高有强行蹭“世界首台”的嫌疑，也不能说这就是假的。

面对技术突破要有雅量也要客观评论

当国内科研工作者做出好的成果时，宣传部门出于及时向全国人民报喜的考虑，往往不能提供反面的评论。即使提出一些问题，更多的还是以普通人的视角去提出。因此公开之后，往往会有始料未及的批评，甚至像贺建奎“基因编辑婴儿”一样出现舆论反转。

因此做出技术突破的部门要对批评更有雅量，甚至于主动地自我批评，在公布时适当对成果的局限性做一些介绍，如此公众方能更加科学理性的进行支持。

同时批评者也应当尽可能地从该项目本身出发，就事论事公正客观地看待国内的技术突破。同时批评者除内部曝料人外即使出于种种原因不实名进行评论，也应当尽可能公开依据的来源以方便读者真正做出自己自己的判断找到真相。

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