我开发新型飞秒激光等离子激元光刻技术可加工石墨烯

APP下载

扫一扫

下载观察者APP

我开发新型飞秒激光等离子激元光刻技术可加工石墨烯

分享到：

2020-05-11 08:52:51 字号：A- A A+ 来源：科技日报

10日，记者从中科院长春光学精密机械与物理研究所获悉，来自该所等单位的研究人员，开发了一种新型飞秒激光等离子激元光刻技术（FPL）。利用该技术，研究人员在百纳米厚的硅基氧化石墨烯薄膜表面实现了高质量微纳周期结构的快速制备。相关成果发表在《光：科学与应用》上。

石墨烯被发现以来，二维材料逐渐进入人们视野，成为材料领域的研究热点。自组装、电子束刻蚀和极紫外光刻等技术可以在石墨烯上制备微纳结构，进而调控其带隙、吸收、载流子迁移率等性能。但这些技术存在着耗时长、成本高、缺乏通用性等问题。因此，如何降低成本，高效制备微纳结构石墨烯，是目前需要解决的重要问题。

飞秒激光加工技术凭借着超高峰值功率和超短脉冲持续时间的独特优势，被广泛应用于多种材料的超精细微纳加工领域。然而，以激光直写为例，虽然其精度很高，但在超精细微纳制备上，效率仍有待提高。同时保证加工精度和加工效率是该技术需要解决的主要问题之一。“如何利用灵活简便的加工手段解决加工精度和加工效率问题是拓展飞秒激光实用化的关键所在。”中科院长春光学精密机械与物理研究所研究员杨建军说。

研究首次证明了FPL技术在二维薄膜材料上能够实现大面积高质量亚微米周期结构的快速制备。得益于飞秒激光的非线性光学特点，FPL技术加工过程不易受材料表面缺陷、杂质等因素的影响，加工基底也不易受到材料种类的限制。加工材料表现出了优异的机械性能，可以利用传统的湿转移法进行完整转移。这为相关材料周期性微纳结构的灵活制备奠定了基础。

（科技日报陆成宽）
标签石墨烯中国科技
- 原标题：我开发新型飞秒激光等离子激元光刻技术可加工石墨烯
- 责任编辑: 翟钦奇
- 上海昨日无新增
  
  2020-05-11 08:00 新冠肺炎抗疫战
- 内蒙古新增境外输入病例7例
  
  2020-05-11 07:46 新冠肺炎抗疫战
- 吉林新增3例，均为舒兰市
  
  2020-05-11 07:42 新冠肺炎抗疫战
- 警方通报女童被骗走杀害案：嫌疑人系刑释人员，已刑拘
  
  2020-05-11 07:09
- 母亲节也不安生，港警带走多人
  
  2020-05-10 23:00 香港
- 安徽3名未成年人轮奸未满14岁少女，被判3年半至4年
  
  2020-05-10 22:05 依法治国
- 人大代表：建议刑事责任年龄起点降至13周岁
  
  2020-05-10 21:41 依法治国
- 李克强对云上2020年中国品牌日活动作出重要批示
  
  2020-05-10 21:04
- 辽宁新增病例行程公布：为舒兰关联病例
  
  2020-05-10 21:01 新冠肺炎抗疫战
- 杭州公布幼儿园开学时间
  
  2020-05-10 20:15 新冠肺炎抗疫战
- 习近平总书记关切事丨增强困难群众对疫情影响的抵抗力
  
  2020-05-10 19:40 新冠肺炎抗疫战
- 八方面系统梳理中国战“疫”成绩习近平强调这三条“时间线”
  
  2020-05-10 19:35 新冠肺炎抗疫战
- 钟华论：在民族复兴的历史丰碑上——2020中国抗疫记
  
  2020-05-10 19:28 新冠肺炎抗疫战
- 上海邮政管理局：快递员未按消费者意愿投送，可投诉
  
  2020-05-10 19:21
- 吉林舒兰“封城”
  
  2020-05-10 19:01 新冠肺炎抗疫战
- 辽宁新增1例本土病例
  
  2020-05-10 17:32 新冠肺炎抗疫战
- 武汉东西湖区调整为中风险
  
  2020-05-10 17:19 新冠肺炎抗疫战
- 吉林省委书记：舒兰疫情非常严峻，必须迅速进入战时状态
  
  2020-05-10 16:28 新冠肺炎抗疫战
- 中国品牌日，习近平“三个转变”重要指示指明方向
  
  2020-05-10 16:18 新时代新气象新作为
- 研究生被导师刁难坠亡？中传回应
  
  2020-05-10 16:18
搜索

   观察者头条查看全部

“轻松的一天”，随行高管们非常期待… 评论 15

东南亚多国表态，“缅甸措辞最严，坚定站队中方” 评论 131

呵呵，“‘民主国家’看不上中国技术”？评论 313

普京访印：美国都在买，印度凭啥不能买？评论 90

日本开发稀土担心中国干扰？日防相放话评论 138

   风闻 · 24小时最热查看全部

   最新视频查看全部
最新闻 Hot
快讯

Copyright © 2014-2024 观察者 All rights reserved。
沪ICP备10213822号-2 互联网新闻信息服务许可证：31220170001 网登网视备（沪）02020000041-1号互联网宗教信息服务许可证：沪（2024）0000009 广播电视节目制作经营许可证：（沪）字第03952号
增值电信业务经营许可证：沪B2-20210968 违法及不良信息举报电话：021-62376571

沪公网安备 31010502000027号中国互联网举报中心上海市互联网违法与不良信息举报中心

返回顶部