-
我科学家另辟蹊径造出9纳米光刻试验样机
关键字: 光刻机据科技日报4月15日消息，记者从武汉光电国家研究中心获悉，该中心甘棕松团队采用二束激光在自研的光刻胶上突破了光束衍射极限的限制，采用远场光学的办法，光刻出最小9纳米线宽的线段，实现了从超分辨成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。
9nm线宽双光束超衍射极限光刻试验样机
光刻机是集成电路生产制造过程中的关键设备，主流深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻机主要由荷兰ASML公司垄断生产，属于国内集成电路制造业的“卡脖子”技术。2009年甘棕松团队遵循诺贝尔化学奖得主德国科学家斯特凡·W·赫尔的超分辨荧光成像的基本原理，在没有任何可借鉴的技术情况下，开拓了一条光制造新的路径。
双光束超衍射极限光刻技术完全不同于目前主流集成电路光刻机不断降低光刻波长，从193纳米波长的深紫外（DUV）过渡到13.5纳米波长的极紫外（EUV）的技术路线。甘棕松团队利用光刻胶材料对不同波长光束能够产生不同的光化学反应，经过精心的设计，让自主研发的光刻胶能够在第一个波长的激光光束下产生固化，在第二个波长的激光光束下破坏固化；将第二束光调制成中心光强为零的空心光与第一束光形成一个重合的光斑，同时作用于光刻胶，于是只有第二束光中心空心部分的光刻胶最终被固化，从而远场突破衍射极限。
纳米加工三维结构的设计及实际光刻效果图
该技术原理自2013年被甘棕松等验证以来，一直面临从原理验证样机到可商用化的工程样机的开发困难。团队经过2年的工程技术开发，分别克服了材料，软件和零部件国产化等三个方面的难题。开发了综合性能超过国外的包括有机树脂、半导体材料、金属等多类光刻胶，采用更具有普适性的双光束超分辨光刻原理解决了该技术所配套光刻胶种类单一的问题。实现了微纳三维器件结构设计和制造软件一体化，可无人值守智能制造。
同时通过合作实现了样机系统关键零部件包括飞秒激光器、聚焦物镜等的国产化，在整机设备上验证了国产零部件具有甚至超越国外同类产品的性能。双光束超衍射极限光刻系统目前主要应用于微纳器件的三维光制造，未来随着进一步提升设备性能，在解决制造速度等关键问题后，该技术将有望应用于集成电路制造。甘棕松说，最关键的是，我们打破了三维微纳光制造的国外技术垄断，在这个领域，从材料、软件到光机电零部件，我们都将不再受制于人。
- 原标题：我科学家另辟蹊径造出9纳米光刻试验样机
- 责任编辑:何书睿
- 最后更新: 2019-04-16 21:08:25
-
韩部队引入5G技术，军校学生用VR军训
2019-04-16 15:30 -
华为轮值董事长：已有40个5G合同 和苹果没有具体讨论5G芯片
2019-04-16 14:25 -
华为成立战略研究院，负责5年以上的前沿技术研究
2019-04-16 13:56 -
三星宣布完成5纳米EUV工艺研发
2019-04-16 13:50 -
摩托罗拉折叠屏手机准备就绪：上下折叠
2019-04-16 10:20 -
2018年全球半导体设备销售额创新高 大陆年增59%排名第二
2019-04-16 09:58 -
三星折叠屏手机Galaxy Fold上架中国官网
2019-04-16 09:51 -
全球三大5G供应商实力大PK 华为遥遥领先
2019-04-16 09:49 -
我国科学家另辟蹊径造出9纳米光刻试验样机
2019-04-16 06:48 科技前沿 -
中国深空探测不会止步月球、火星，还将进军木星
2019-04-15 19:24 航空航天 -
汇顶科技：在售的光学屏下指纹都是抄我们的！
2019-04-15 17:43 手机 -
湖北，“氢能火车”要来？
2019-04-15 17:13 高铁世纪 -
严重宕机！Facebook今年第三次故障
2019-04-15 15:18 -
任正非：欢迎苹果使用华为5G芯片
2019-04-15 11:42 -
谷歌AI能战胜柯洁 却做不及格英国高中数学题
2019-04-15 11:01 人工智能 -
官网恢复后全产品下架 金立或转让手机业务
2019-04-15 10:51 手机 -
IBM新加坡工厂关闭 全体裁员
2019-04-14 21:11 -
三沙首个5G基站开通 信号覆盖祖国最南端
2019-04-14 13:14 -
世界翼展最大飞机试飞，可将火箭载至平流层发射
2019-04-14 09:27 航空航天 -
北京接通第一个5G手机电话
2019-04-13 20:27 5G
相关推荐 -
关于“不开第一枪”，台军修改战备规定 评论 120
台媒：台军2架战机升空，被6架解放军战机包夹 评论 466
TikTok“云上加州”方案，特朗普点头祝福 评论 545
菅义伟有意与蔡英文通话？日方回复中方：绝不会 评论 198
她去世当天，美国新一轮政治大戏开场 评论 149最新闻 Hot-
关于“不开第一枪”，台军修改战备规定
-
香港女子袭击辱骂内地学生，被捕
-
美媒：CIA一次针对中国的行动，4名特工无人生还
-
印媒：怕被中国抢走市场，印度洋葱“出征”
-
我战机连续三日进入台湾空域，这一次美军机也来了
-
台媒：台军2架战机升空，被6架解放军战机包夹
-
寄给特朗普的信件含致命毒素，初步调查显示来自加拿大
-
消息人士：甲骨文和沃尔玛将分别持股12.5%和7.5%
-
英法德不跟，美国执意恢复对伊制裁
-
她去世当天，美国新一轮政治大戏开场
-
昨天出动18架，今天又有19架
-
AMD：已获美国许可，向“实体清单”中某些公司供货
-
岛内欢呼美国务院三号人物来访，被当头泼冷水
-
普京：俄制武器“举世无双”
-
特朗普政府高官：WeChat在美国“结束了”
-
台军这就算“硬起来了”？！
快讯 -
沪公网安备 31010502000027号
中国互联网举报中心
上海市互联网违法与不良信息举报中心
