-
我国稀贵金属溅射靶材制备已打破国外垄断
关键字: 溅射靶材中国半导体高端稀贵金属靶材【观察者网 综合报道】
据云南省科技厅11月28日消息称,云南省贵金属材料重点实验室研发团队在主任胡昌义带领下,开展电子信息产业用稀贵金属溅射靶材的关键制备技术及工程化应用研究,成功制备镍铂(NiPt)、钴铬铂硼(CoCrPtB)等靶材和钌(Ru)、钴铬铂二氧化硅(CoCrPt-SiO2)靶。研发成果申请专利25件,授权11件,制定行业标准1项,发表论文66篇,荣获2018年中国有色金属工业科技进步一等奖。据预测,未来5年,世界溅射靶材的市场规模将超过160亿美元。此次我国稀贵金属溅射靶材制备问世,国内溅射靶材企业的成长空间被打开。
据观察者网了解,稀贵金属薄膜是电子信息产业起核心支撑作用的战略性材料。溅射靶材是制备薄膜的关键源材料,主要应用于电子及信息产业,如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等;亦可应用于玻璃镀膜领域;还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业。
目前,在高端稀贵金属靶材的制备主要集中在日本、美国、德国等国家。国内与国际差距集中在溅射靶材上游材料(主要在超高纯原材料方面)与服务于集成电路先进制程的新产品两大领域。
高纯NiPt靶材产品 图丨云南科技厅
针对这一现状,实验室团队采用熔炼及塑性加工法制备了镍铂、钴铬铂硼等靶材,采用粉末冶金法制备了钌及钴铬铂二氧化硅靶。开发了镍铂靶微组织择优取向控制技术、高纯钌靶批量制备技术、脆性靶材的成分控制及缺陷控制技术、含氧化物靶材的相界面结合控制技术。
高纯贵金属NiPt靶材及靶材生产制备 图丨云南科技厅
通过新技术的攻关和应用,实现了靶材产品的主要性能指标靶材度 99.995wt%、靶材主成分偏差0.5wt%以内、靶材密度 98.5%、靶材与背板焊合率 98.5%。其中,今年7月镍铂靶材研发成果打破了国外垄断,使同类产品实现了替代进口,并出口至美国知名半导体公司。
另据了解,镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料,用于高能激光武器中,不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。例如:蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等),即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。
- 原标题:连续取得重大突破!我国稀贵金属溅射靶材制备已打破国外垄断
- 请支持独立网站,转发请注明本文链接:
- 责任编辑:连政
- 最后更新: 2018-12-05 17:10:40
-
美版知乎Quora称1亿账号信息被盗 用户:我都忘了还注册过这个
2018-12-05 16:55 互联网大佬 -
彭博:华为将推出由索尼传感器支持的3D摄像头手机
2018-12-05 16:52 手机 -
百度推荐高仿签证网站 复旦教授等多人中招被骗
2018-12-05 16:37 大公司 -
“中国量子加密技术领先,美国若再等5年才投入就晚了”
2018-12-05 16:20 -
英国电信将在两年内移除4G网络中的华为设备
2018-12-05 15:30 华为 -
中国超越韩国 成全球最大半导体设备市场
2018-12-05 15:01 -
高通发布骁龙855,Exynos 9820、麒麟980安兔兔跑分对比来了
2018-12-05 13:22 手机 -
割舍不下自主操作系统梦,华为手机这次能否彻底告别安卓?
2018-12-05 10:38 手机 -
1小时作业150亩!大疆农业植保无人机T16来了
2018-12-04 21:42 科技前沿 -
英国特勤局局长警告必须对华为做出“一些决定”
2018-12-04 20:48 -
猎鹰9号将100人骨灰送入太空
2018-12-04 17:19 航空航天 -
武汉新芯晶圆级三维集成技术研发成功
2018-12-04 13:50 -
微软确认将向美国军方提供全面和无条件的支持
2018-12-03 16:55 大公司 -
科技早报|董明珠:与雷军五年赌约已胜出 做芯片股价跌只因我们是真做
2018-12-03 09:39 -
韩国率先推出5G商用服务
2018-12-03 09:00 三八线之南 -
科技日报:国产22纳米光刻机治不了咱们“芯”病
2018-12-03 08:25 科技前沿 -
工信部传来大消息:不换号,也能转运营商!
2018-12-02 17:38 -
湖南农业大学科研团队:突破杂交水稻机插秧栽培技术
2018-12-02 10:05 科技前沿 -
印度政府“最后通牒”,苹果屈服
2018-12-01 19:35 手机 -
直播:马斯克们来了——第二次太空竞赛新格局与中国困境
2018-12-01 18:26
相关推荐 -
伊朗外长否认以空袭:除非遭重大袭击,否则不予回应 评论 177重庆通报“燃气费异常”:燃气集团党委书记被免职 评论 694“伊以都在降调”,国对国直接打击结束? 评论 148以色列“有限复仇”:选在了伊朗核计划中心 评论 357以色列“报复”开始:伊朗多地传出爆炸声 评论 591最新闻 Hot
-
“伊以都在降调”,国对国直接打击结束?
-
美方挑事:中国做出贡献,威胁全欧洲
-
印度大选开锣,莫迪稳赢了?
-
俄气真香?欧盟机构警告:一时断不了
-
“德国车是世界上最好的,不必害怕中国,但…”
-
抛弃自家兄弟,肯尼迪家族15人支持拜登
-
“拜登考虑再援以10亿美元武器”
-
日教材称“殖民推动韩国近代化”,韩外交部召见日大使抗议
-
重庆通报“燃气费异常”:燃气集团党委书记被免职
-
G7竟威胁中国:跟俄罗斯走近,与西方就远
-
以色列“有限复仇”:选在了伊朗核计划中心
-
5.3%,一季度“开门红”能转化为“全年红”吗?
-
两大家族开撕?菲第一夫人公开指责副总统:不道歉,这事就没完
-
美国一票否决,多方回应
-
李迅雷:发展服务业与做强制造业不矛盾,可参照德国、日本
-
欧盟跟着泼脏水:中国不仅坐山观虎斗,还下场了
-