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重大变革!公斤等4个国际单位明年重新定义 台湾半导体产业或先受冲击
关键字: 国际单位国际单位制台湾半导体公斤《中国时报》报道称,若无法在明年跟上最新制度,对半导体业恐造成影响,因为化学溶液量测误差会导致降低良率。提升检测设备的费用高达6亿台币,“经济部标检局”目前经费仍无着落。
隶属台湾“经济部”的“国家度量衡标准实验室”传出消息,目前仍筹不到经费,无法跟进,千克量测校正标准将降为二级。这样一来,将冲击讲求精准度的“纳米”晶圆制程校正,生产机器、设备校正都会受影响,因国际标准拉高,相对地,台湾半导体良率会被拉低。
台湾标检局官员指出,四项改变中最重要的是“千克”定义的改变。台湾1995年引进IPK,放在新竹工研院的“国家度量衡研究室”。由于“经济部标检局”面临“无钱可编”的窘境,将无法在明年跟上国际脚步。而在半导体制程中,晶圆表面的清洗、蚀刻与研磨皆要仰赖特定化学溶液,这些化学溶液量测如果有一点点误差,都会影响良率。
以先进的台积电与联电晶圆制程来说,良率均高达95%,新标准改变将被拉低多少良率?据台湾标检局官员分析,这将视不同生产线与产品而定,但千克新标准会比旧的精准2到4倍,将有一定程度影响。
大陆做好准备了吗?
那么,面对明年的计量变革,大陆做好准备了吗?可以说,关键技术已经有了突破。
据中国计量网报道,今年3月,由中国计量院承担的国家质检总局科技计划项目“高准确度真空质量测量系统的建立”项目通过验收。项目首次在我国建立了最大量程1kg的高准确度真空质量测量装置,真空质量测量重复性、灵敏度达到国际先进水平,成功解决了2018年国际质量单位千克重新定义后质量量值传递技术关键问题。
由于未来的质量单位将在真空中实现,而日常生活的质量工作标准——砝码仍是在空气中使用的,这给质量量值的传递方式带来了一系列问题——除了需要将保存在真空中的质量标准传递到空气中外,还必须对环境参数进行测量和实时修正。
从2013年起,中国计量院围绕质量单位新定义之后质量量值传递关键技术开展了系列研究。经过多年努力,项目组在真空质量测量、真空质量标准的传递,以及异型砝码表面吸附测量和修正等方面取得了一系列创新成果,建立了测量灵敏度优于0.1μg、满载重复性优于0.47 μg、测量扩展不确定度25 μg(k=2)的高准确度真空质量测量装置;形成了不同材料砝码表面吸附率测量、不确定度评估和吸附修正,空气密度测量,砝码交换称量等一系列具有自主知识产权的技术。
项目建立的高准确度真空质量测量装置成功解决了砝码真空质量测量时系统稳定性和保持高真空度之间的矛盾;采用的非接触式分子泵散热方法和多点位多参数循环监测方法,显著提高了装置的测量重复性和稳定性。此外,项目还实现了多种砝码表面吸附与其逆过程的精确分析,吸附测量扩展不确定度0.0011 μg/cm2(k=2),达到了国际先进水平。
科学家早已开始行动,不过,相比台媒的先知先觉,对世界测量技术规则的改变,相关产业如何应对,截止观察者网发稿,大陆主流媒体并未进行专门报道和宣传。
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- 责任编辑:孙武
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